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正确组合购买真空溅射镀膜机厂家。 由于真空泵的选择性抽取,有时一种类型的泵不能满足抽取要求,因此有必要将多个泵组合在一起以相互配合才能满足抽取要求。 例如,钛热升华泵对氢的泵浦速度很高,但不能泵浦氦气,而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对氩气具有一定的泵浦速度,两者结合使用, 真空溅射镀膜机厂家将获得更好的真空度。 另外,一些真空泵不能在大气压下工作,需要预先真空。 一些真空泵的出口压力低于大气压力,并且需要备用泵,因此需要组合使用泵。 在其工作压力下,真空泵应能够排出真空设备过程中产生的所有气体。
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